配位剂种类对ITO薄膜显微结构和光学性能的影响

摘要：

本文以三氯化铟(InCl3·4H2O)为前驱物,以四氯化锡(SnCl4·5H2O)为掺杂引入剂,采用溶胶—凝胶法制备ITO薄膜。考察了以二乙醇胺(DEA)和乙酰丙酮(AcAc)为配位剂以及无配位剂条件下,ITO薄膜的显微结构及光学性能。TG-DSC,XRD,SEM的测试结果表明:配位剂影响薄膜的结晶性能和表面形貌,添加二乙醇胺的薄膜结晶温度最低,薄膜均匀、表面平整。光学性能测试表明,DEA配位的ITO薄膜可见光透过率高,且红外反射性能较好。

关键词： 配位剂 溶剂凝胶 显微结构 光学性质 薄膜制备

作者: 张英 徐雪青 徐刚

作者单位: 中国科学院广州能源研究所,广东 广州 510640 中国科学院可再生能源与天然气水合物重点实验室,广东 广州 510640

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 744-748

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）