USP法制备p型Zn1-zMgzO薄膜的初步研究

摘要：

利用超声雾化热分解技术(USP),在eagle2000衬底上采用用N-Al共掺法获得了p型Zn1-xMgxO薄膜,在Al掺入比例为0.05时获得了最优的p型Zn1-xMgxO薄膜,其电学特性为电阻率为18.43Ω.cm、迁移率是0.362 cm2/(V.s)、载流子浓度为1.24×1018cm-3.并尝试与FTO薄膜结合生成FTO/p-Zn1-xMgxO复合薄膜,应用于微晶硅薄膜电池前电极。

关键词： 复合薄膜 超声雾化 热分解 电学特性

作者: 边楠 张晓丹 张霞 孙福和 杨瑞霞 赵颖

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071 河北工业大学信息学院,天津,300130 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071 河北工业大学信息学院,天津,300130

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 708-712

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）