PECVD制备N掺杂类金刚石薄膜的光学特性

摘要：

在ITO玻璃和普通玻璃上用PECVD技术制备掺N类金刚石薄膜,用XP-1台阶仪测量薄膜厚度,并用U4100分光光度计分析测试薄膜反射光谱与氮掺杂量的关系。实验表明,以普通玻璃为衬底的掺N类金刚石薄膜对不同波长的光的反射率随着N的含量的变化其反射率无变化；而以ITO玻璃为衬底的薄膜随着N掺杂量的增加,反射率的变化趋向于相对稳定。

关键词： 类金刚石薄膜 光学性质 氮掺杂 反射光谱

作者: 刘洪伶 木易 王明月 董婧 苑进社

作者单位: 重庆市高校光学工程重点实验室 重庆 400047 重庆师范大学物理学与信息技术学院 重庆 400047

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 630-632

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）