AlSb多晶薄膜的结构和电学性能研究

摘要：

本文采用共蒸法制备出了新型薄膜太阳电池材料——AlSb多晶薄膜。通过XRF、XRD、Hall测试及电导率温度关系等研究了AlSb多晶薄膜的组分、结构、掺杂类型等。分析表明,刚沉积的AlSb薄膜为非晶相,退火后,随着退火温度的升高,不同配比的样品有着不同程度的物相转变,其中NAl/NSb为47.2％:52.8％的薄膜多晶转变最为明显,结晶度较高；AlSb薄膜退火后在升降温阶段电导率发生不可逆变化,而且退火后薄膜为p型掺杂半导体。

关键词： 太阳能电池 多晶薄膜 电学性能 物相转变

作者: 宋慧瑾 武莉莉 郑家贵 冯良桓 雷智 张静全 贺剑雄 夏庚培

作者单位: 四川大学太阳能材料与器件研究所,四川 成都 610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 615-618

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）