氧化锌透明导电薄膜生长及其光电特性研究

摘要：

本研究工作采用MOCVD系统在低温的条件下生长ZnO薄膜,通过控制n型掺杂剂气体B2H6流速制备不同ZnO∶B薄膜,利用Hall效应、紫外可见透射谱等手段对薄膜的光电性能进行表征和分析。通过实验条件的优化获得高电导率和高光透过率的优质透明导电薄膜。本工作中的优化实验条件下制备的薄膜电阻率约为1.5×10-3Ω.cm,可见光区域平均透射率接近90％。

关键词： 光学性质 电学性质 氧化锌 透明导电薄膜 薄膜生长

作者: 孟凡英 胡宇 余跃波

作者单位: 上海交通大学物理系太阳能研究所,上海市 200240

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 585-590

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）