后硒化法制备CIGS薄膜中的元素损失机制

摘要：

本文通过在线电阻监测方法,结合XRD、XRF测试结果,研究固态Se源后硒化法制备CIGS薄膜中的元素损失机制,表明InGa共存时Mo/Ga/In结构中的Se扩散速率高于Mo/In/Ga结构；元素损失率与沉积顺序有关；同时证实了提高硒化升温速率可有效降低元素损失的比例,为降低后硒化法制备CIGS薄膜的元素损失提供了理论依据。

关键词： 薄膜制备 元素损失 硒化过程 在线电阻监测

作者: 刘玮 孙云 何青 李凤岩 乔在祥 刘芳芳 李长健 田建国

作者单位: 南开大学信息技术科学学院光电子研究所 南开大学物理学院光子学中心 天津,中国,300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 550-553

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）