种子层诱导法低温生长绒面结构ZnO薄膜

摘要：

研究了ITO种子层诱导生长ZnO-TCO薄膜的微观结构和光电性能变化.XRD和SEM的研究结果表明,具有ITO种子层的未掺杂ZnO薄膜具有(110)峰特征的绒面结构。ITO种子层一方面降低了MOCVD技术生长ZnO薄膜的衬底温度,另外有效提高了ZnO薄膜的导电性能,并且形成光散射的粗糙表面,适合陷光结构应用。TEM测试表明,ITO种子层促进了薄膜晶化,减薄了ZnO初期生长的非晶成份。

关键词： 种子层诱导 绒面 太阳能电池 薄膜晶化

作者: 陈新亮 张德坤 薛俊明 孙建 赵颖 耿新华

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室,天津 300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 468-471

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）