用于薄膜太阳电池的绒面ZnO透明导电薄膜的研究

摘要：

本文介绍了南开大学近几年来开展新型的ZnO绒面透明导电薄膜研究的最新成果。采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)的方法和磁控溅射+湿法腐蚀的方法研究绒面ZnO透明导电膜。目前,用MOCVD的方法制备的ZnO∶B具有类金字塔的表面形貌,其电阻率达到1.2×10-3Ωcm,可见光透过率大于85％；用磁控溅射+湿法腐蚀的方法获得的ZnO∶Al具有弹坑状的表面形貌,其电阻率小于1.0×10-3Ωcm,可见光透过率大于85％。

关键词： 透明导电薄膜 绒面 薄膜电池 化学气相沉积 磁控溅射 太阳能电池

作者: 薛俊明 陈新亮 李林娜 段苓伟 黄宇 孙建 赵颖 耿新华

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室,天津 300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 464-467

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）