超声喷雾热解法制备ZnO、ZnO∶Al薄膜的研究
采用自制的超声喷涂热解设备在玻璃基片上沉积了ZnO和ZnO∶Al薄膜.研究了沉积温度、Al掺杂浓度对薄膜形貌、透光率、结晶特性的影响。在温度实验中,ZnO和ZnO∶Al薄膜的透光率随着沉积温度的升高而迅速增加,并趋于饱和。ZnO薄膜的晶粒生长主要表现为(101)、(002)晶向,且随着温度的升高薄膜结构变的致密；而ZnO∶Al薄膜在低温时表现为(002)生长特性,随着温度的升高转变为(101)、(002)和(100)晶向生长。随着溶液中Al含量的增加,ZnO∶Al薄膜的透光率降低,电导率先增大后降低,并在溶液中Al∶Zn(mol浓度比)为8％时薄膜呈现出强的(002)生长特性。
超声雾化热解 透明导电氧化物 透光率 电导率 薄膜制备
陈永生 卢景霄 杨仕娥 郜小勇 谷锦华
郑州大学材料物理教育部重点实验室,河南 郑州 450052
国内会议
常州
中文
450-454
2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）