铝氧化锌薄膜相关特性的研究
利用中频直流磁控反应溅射法在玻璃衬底上制备了3h的AZO透明导电薄膜。利用XRD四探针法和分光光度计分别研究了不同衬底温度下薄膜的晶体结构、电学和光学特性。研究结果表明:所制备的AZO薄膜并没有表现出明显的(002)c轴择优取向,这可能是由于长时间沉积引起的晶面能演变导致。电阻率在衬底温度为270℃时取得2.5×10-3Ω·cm,分别从微观、薄膜生长机制、晶体结构和薄膜显微结构的角度分析了薄膜电阻率的变化趋势。在可见光范围内,薄膜的平均透过率均大于85％.随着衬底温度的升高,薄膜的吸收边发生蓝移,高于270℃后,又发生了红移,这可归结于载流子浓度的变化。
掺铝 氧化锌薄膜 磁控溅射 衬底温度 透明导电薄膜
林清耿 郜小勇 冯红亮 陈永生 杨仕娥 谷锦华 卢景霄
郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南 郑州 450052
国内会议
常州
中文
444-449
2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）