光谱椭圆偏振法表征太阳电池用微晶硅薄膜初探
本文尝试为等离子体化学气相沉积(PECVD)制备的微晶硅(μc-Si∶H)薄膜太阳电池的P型与I型微晶硅(μc-Si∶H)材料和N型非晶硅(a-Si∶H)材料建立简单实用的光学模型,用以拟合可见和近红外范围(370nm-1000nm)的光谱椭圆偏振测量值(Ψ和Δ)而得到这些材料的光学常数(折射率和吸收系数)谱。采用了Tauc-Lorentz振子模型,并考虑玻璃衬底下表面反射和硅薄膜表面氧化层与粗糙层的影响,得到了比较理想的拟合结果。结合拉曼散射谱分析结果,发现光学常数谱可以反映材料以晶化程度为主的微观结构信息。
光谱椭圆偏振 振子模型 微晶硅薄膜 太阳能电池 等离子体 化学气相沉积
张鹤 张晓丹 韩晓艳 赵颖 熊绍珍
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津 300071
国内会议
常州
中文
405-408
2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）