高速沉积高效微晶硅太阳电池的研究

摘要：

微晶硅太阳电池是硅基薄膜太阳电池的新一代技术。如何提高微晶硅太阳电池的沉积速率是降低其制造成本的关键技术。本文研究了提高微晶硅薄膜沉积速率的方法,并研究了在高速沉积条件下影响微晶硅薄膜质量、进而影响电池性能的关键因素,提出了高速沉积优质微晶硅薄膜和高效微晶硅电池的有效途径。在微晶硅薄膜的沉积速率12(A)/s时,单结微晶硅电池效率达到9.36％,非晶硅,微晶硅叠层电池效率11.3％。

关键词： 微晶硅电池 高速沉积 叠层电池 太阳能电池

作者: 耿新华 陈新亮 张德坤 赵颖 侯国付 张晓丹 韩晓艳 郭群超 高艳涛 薛俊明 魏长春 孙建

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津,300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 376-379

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）