单室VHF-PECVD技术制备单结微晶硅及非晶硅/微晶硅叠层薄膜太阳电池的研究

摘要：

本文采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,针对单室VHF-PECVD制备微晶硅薄膜太阳电池存在交叉污染的问题,有意地进行了污染控制以及p/i/n型电池各层材料的优化研究。继而获得了单室VHF-PECVD技术制备单结微晶硅薄膜太阳电池的效率达到6.3％(1cm2)。同射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术制备的非晶硅薄膜太阳电池组合,所研制的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的效率达到了10.6％(0.25cm2)。

关键词： 微晶硅薄膜 太阳能电池 化学气相沉积 等离子体增强

作者: 张晓丹 陈新亮 耿新华 熊绍珍 赵颖 魏长春 孙福和 王光红 许盛之 岳强 孙建 张德坤

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 354-358

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）