单室VHF-PECVD制备微晶硅薄膜及其在电池中的应用

摘要：

为确定单室高效太阳电池的沉积参数,用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了不同沉积条件下的本征微晶硅薄膜,并研究其结构及电学输运特性。选择器件质量级的本征微晶硅薄膜作为电池的有源层,针对单室沉积微晶硅薄膜太阳电池进行了污染控制的初步研究,使单腔室中制备的单结微晶硅电池的光电转换效率提高到6.17％(1cm2)。

关键词： 等离子体增强 化学气相沉积 微晶硅 太阳能电池

作者: 王光红 熊绍珍 赵颖 张晓丹 孙福和 许盛之 岳强 魏长春 孙建 赵庚申 耿新华

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津 300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 348-353

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）