PET塑料衬底上柔性硅基薄膜电池研究

摘要：

采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,保持衬底温度在125℃沉积硅薄膜材料及电池。首先研究了低温条件下硅烷浓度对本征层材料及电池性能的影响,在125℃的低温条件下,在玻璃衬底上制备出效率达到6.8％的单结非晶硅电池；在PET塑料衬底上,制备出效率达到4.8％的单结非晶硅电池。采用梯度氢稀释的方法,使微晶硅底电池本征层的纵向均匀性得到优化,在PET衬底上,制备出初始效率为6.0％的非晶,微晶硅叠层电池。

关键词： 低温沉积 硅薄膜 太阳能电池 柔性衬底

作者: 倪牮 薛俊明 赵鹏 袁育杰 张建军 侯国付 孙建 赵颖 耿新华

作者单位: 南开大学光电薄膜器件与技术研究所 南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室,天津 300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 313-315

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）