太阳能产业用硅料的新处理工艺

摘要：

介绍了太阳能产业用的硅原料处理新工艺,包括自动酸腐蚀工艺,半导体中氧化硅片的处理及埚底料的循环腐蚀工艺。这些新工艺,扩大太阳能产业用的硅料种类,并为大批量生产提供设备及工艺参考。

关键词： 酸腐蚀 氧化硅片 循环腐蚀 太阳能产业

作者: 周基江 汪钉崇 王仁杰

作者单位: 制造部铸锭车间,常州天合光能有限公司 江苏省 常州市 213031 技术发展部,常州天合光能有限公司 江苏省 常州市 213031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 247-249

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）