会议专题

石英坩埚中碱金属含量对硅单晶拉制的影响

纯化石英坩埚所用高纯石英砂,改变其中Na、K元素的含量,研究了石英坩埚中Na、K元素含量的不同对硅单晶拉制的影响。结果表明,降低Na、K元素的含量有利于提高石英坩埚的软化点,增强石英坩埚的抗变型性,提高单晶的成品率。

石英坩埚 硅单晶 单晶拉制

王伟 黄振飞 汪钉崇

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2008-09-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)