论切水剂在硅片清洗中应用

摘要：

研究切水剂的切水、脱水特性,将切水剂运用到硅片清洗工序中,以达到优化清洗工艺、简化清洗设备、缩短硅片清洗时间的目的。结果表明,使用切水剂可以达到预期效果,而且对提高硅片清洁度有好处。

关键词： 切水剂 硅片清洗 清洗工艺

作者: 韩红江 陈月琴 张华

作者单位: 硅片制造部,常州天合光能有限公司 江苏省 常州市 213031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 237-242

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）