会议专题

多晶硅铸锭石英陶瓷坩埚及涂层

在物理法提纯太阳能级多晶硅材料和定向结晶系统(DSS)采用石英陶瓷坩埚。石英陶瓷坩埚的涂层材料及其应用工艺均不同于拉单晶使用的石英玻璃坩埚。石英陶瓷坩埚的涂层在提纯多晶硅和定向结晶中起关键性的作用。

石英陶瓷 太阳能坩埚 多晶硅 定向结晶

陈圣贤 汪钉崇

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2008-09-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)