磷吸杂对多晶硅片少子寿命分布的影响

摘要：

本文研究了太阳能电池生产工艺中,在磷扩散制备PN结时,磷吸杂对多晶硅片少子寿命分布的影响。多晶硅中存在着高密度的缺陷和杂质,如晶界、位错、氧碳和金属等,而且其分布很不均匀。一方面导致原始多晶硅片少子寿命分布的不均匀性；另一方面,缺陷和杂质之间的相互作用,导致磷吸杂效果存在很大差别。实验表明,在磷扩散制备PN结时,磷吸杂效果显著依赖于多晶硅片内部缺陷和杂质的分布。

关键词： 磷吸杂 多晶硅 少子寿命 太阳能电池 生产工艺

作者: 蒋仙 李剑 孙世龙 陈如龙 张光春 施正荣

作者单位: 尚德电力控股有限公司,江苏 无锡 214028

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 196-199

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）