C/C复合材料坩埚在直拉单晶炉中的应用研究

摘要：

本文详细介绍了坩埚在直拉单晶硅热场系统中的作用,对比了石墨坩埚和炭/炭复合材料坩埚的生产过程与性能差异,综述分析了炭/炭复合材料坩埚的市场前景。通过使用情况得出,炭/炭复合材料坩埚完全可以应用于直拉单晶硅领域,其性能远优于石墨坩埚,并分析了炭/炭复合材料坩埚的破坏机理,提出了解决措施。通过对整个行业的分析,炭/炭复合材料坩埚将取代石墨坩埚成为未来直拉硅单晶的热场首选材料。

关键词： 复合材料 坩埚 直拉单晶炉 热场系统 生产工艺

作者: 李军 史舸 吴书晓 王文 廖寄乔

作者单位: 湖南金博复合材料科技有限公司 中南大学粉末冶金国家重点实验室 洛阳麦斯克电子材料有限公司 湖南金博复合材料科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 96-101

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）