多晶硅太阳电池表面酸腐蚀织构化工艺的研究
本文介绍了利用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面的研究结果,主要采用酸腐蚀制绒,并利用SEM和Hitachi U-4100分光光度计分析了化学腐蚀后多晶硅片表面形貌和陷光效果。随着反应时间的增加,表面形貌是从微裂纹状到气泡状,反射率是一个先降后升的过程,其中微裂纹状织构的反射率比气泡状的低。通过优化各种参数,获得了腐蚀速度平缓,表面形貌介于微裂纹与气泡状之间,能与目前太阳电池后续工艺相适应的多晶硅绒面。
多晶硅 酸性腐蚀 太阳能电池 织构化工艺
赵汝强 沈辉 梁宗存 李军勇 曾广博
中山大学太阳能系统研究所,广东省,广州,510006
国内会议
常州
中文
58-63
2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）