用于风洞流速精确测控的微差压传感器设计
本文报告了用于风洞流速精密测控的高精度硅压阻微差压传感器的设计与制造.采用梁膜岛复合力敏结构设计获得了低量程下的高输出灵敏度和优良的非线性性能.采用无掩模腐蚀形成应力匀散区及无应力制造与封装技术确保了产品的高稳定与高可靠性。
微差压传感器 MEMS 粱膜岛复合结构 无应力制造 风洞流速测控 无掩模腐蚀
尤彩红 王冰 王文襄 施洪昌
昆山双桥传感器测控技术有限公司双桥传感器研究所,昆山周庄 215325 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所,四川绵阳 622662
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2008-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）