氩气压强对ZnO薄膜的性质影响

摘要：

开发低成本、高效率、高稳定性太阳电池是目前光伏行业的主要研究方向。非晶硅/单晶硅异质结电池由于具有工艺温度低、转换效率高和温度系数低等优点而备受关注。作为非晶硅/单晶硅异质结电池窗口层的透明导电膜——ZnO,其质量将直接影响电池性能。本文采用磁控溅射技术,在不同的氩气压强下沉积ZnO薄膜,并分析了薄膜的沉积速率和光电特性,结果表明:在4 mTorr时制备的薄膜,具有很好的导电性和光透过性。该研究对提高非晶硅/单晶硅异质结电池性能具有一定的参考意义。

关键词： 磁控溅射 氧化锌薄膜 光电特性 太阳能电池 氩气压强

作者: 陈肖静 朱拓 李果华 王永谦 张光春 施正荣

作者单位: 江南大学 江苏 无锡 214122 尚德电力控股有限公司 江苏 无锡 214082 江南大学 江苏 无锡 214122 尚德电力控股有限公司 江苏 无锡 214082

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 183-186

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）