溶胶凝胶旋涂工艺制备单晶硅太阳能电池用ZnO减反射膜的研究

摘要：

本文采用溶胶凝胶旋涂工艺在制绒后的单晶硅片表面制备了ZnO减反射薄膜,采用锌离子浓度分别为0.6mol/L和1.0mol/L的两种不同溶胶,涂敷了不同的厚度的ZnO薄膜。用XRD,紫外可见光谱,反射率分析等方法对ZnO的结构和光学性能进行表征。结果表明:在制绒硅片上制备的ZnO减反射膜没有出现择优取向,该ZnO薄膜能够使制绒后的硅片在400nm到1000nm波长范围内的平均反射率降至2.16％。

关键词： 单晶硅片 减反射薄膜 溶胶凝胶 旋涂工艺 太阳能电池

作者: 鲁林峰 沈鸿烈 刘欣 李斌斌 王涛 吴京波 李琼

作者单位: 南京航空航天大学材料科学与技术学院,江苏,南京,210016 南京沙宁申科技开发有限公司,江苏,南京,210006

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 175-178

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）