管式扩散中POCI3使用量的测量及对扩散工艺的影响

摘要：

本文研究了同一瓶三氯氧磷扩散源使用过程中,随工艺次数增加,氮气量保持恒定的情况下,磷源的携带量逐渐减少。硅片的方块电阻逐渐增加,方块电阻和电池片效率的离散度逐渐增加。通过对同一瓶三氯氧磷使用过程中逐渐增大氮气流量,方块电阻趋于稳定,方块电阻和电池片效率的离散度减小。

关键词： 单晶硅 太阳能电池 三氯氧磷 扩散工艺

作者: 陈琼 蔡希松 李钟华 刘秀兰 潘盛 刘志刚 孙铁囤

作者单位: 常州亿晶光电科技有限公司,江苏 金坛 213200

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 137-144

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）