电子束双偏转扫描系统的设计
与透镜后偏转系统相比较，透镜前双偏转系统具有可采用较小的工作距离和容易实现电子束垂直着靶等优点，而且通过在两偏转线圈之间设置一个转角可以降低复合磁聚焦偏转系统象差。该文对系统的结构和电气参数对电子光学特性的影响进行了计算机模拟，从中找出了最佳的工作参数，并提出了一种能较好地满足计算精度要求的偏转器结构设计。
电子束 双偏转器 偏转象差
康念坎 王理明 张福安
中国科学院电子学研究所 中国科学院电工研究所
国内会议
成都
中文
68～72
1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）