微电子标准样片制备研究

摘要：

本文旨在研究微电子标准样片制备过程和方法,制备出适合集成电路参数量值传递的标准样片,完善微电子量值溯源体系。

关键词： 集成电路 标准样片 电路参数 电子量值 电路测试

作者: 刘文捷 石坚

作者单位: 武汉数字工程研究所 武汉 430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国测试学术会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 423-425

在线出版日期: 2008-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）