１２ＧＨｚ的微波电路的研制

摘要：

利用电子束研制出０．４μｍ，的掩模板，通过接触光刻，在ＧａＡｓ片上两次曝光研制出１２ＧＨｚ的微波器件。

关键词： 电子束 曝光 亚微米光刻 单体集成电路 微波器件

作者: 彭力 赵丽新 陈惠萍 冯震

作者单位: 华晶电子集团公司掩模工厂(无锡) 产业部电子第13研究所(石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 94～96

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）