In-Nb复合半导体氧化物Cl2敏感特性的研究

摘要：

以检测Cl2为目标,采用恒温化学共沉积法合成了In-Nb复合半导体氧化物,并研究了其气体传感器的制作方法,分析了In-Nb气敏材料的微观特性和敏感特性,探讨了气敏机理.实验证明,In-Nb材料具有良好的Cl2敏感特性。

关键词： 复合半导体氧化物 气敏特性 氯气传感器 化学共沉积法

作者: 赵文杰 施云波 修德滨 雷廷平 冯侨华 王立权

作者单位: 哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨:150080 哈尔滨工程大学机械工程博士后科研流动站,哈尔滨:150001;哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院,哈尔滨:150080 哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院,哈尔滨:150080 哈尔滨工程大学机械工程博士后科研流动站,哈尔滨:150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届中国湿度与水分学术交流会暨第十届全国气湿敏传感器技术交流会

会议地点: 江西景德镇

会议语种:中文

页码: 272-275

在线出版日期: 2008-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）