磁控溅射碳纳米管SnO2材料性能的研究

摘要：

采用磁控溅射的方法制备薄膜型碳纳米管SnO2气敏元件,通过对气敏元件在不同气体中的响应进行分析,以及对气敏元件进行SEM和XRD实验,研究碳纳米管SnO2材料的气敏性能.实验表明:磁控溅射碳纳米管SnO2气敏元件对NO2气体有很高的灵敏度,对其他气体不敏感.

关键词： 磁控溅射 碳纳米管 二氧化锡 气敏元件 二氧化氮

作者: 林伟 黄世震 陈文哲

作者单位: 福州大学材料科学与工程学院,福州,350002;福州大学物理与信息工程学院,福州,350002;福建省微电子集成电路重点实验室,福州,350002 福州大学材料科学与工程学院,福州,350002

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届中国湿度与水分学术交流会暨第十届全国气湿敏传感器技术交流会

会议地点: 江西景德镇

会议语种:中文

页码: 264-266

在线出版日期: 2008-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）