全氯取代酞菁锌的合成及其Cl2气敏性研究

摘要：

本文以四氯邻苯二腈和尿素为原料,采用钼酸铵固相催化法合成了全氯取代氯酞菁锌,并通过红外、紫外光谱对其进行了表征.在SiO2基片上,利用MEMS微加工技术制造了敏感电极,采用蒸发镀膜工艺制作了气体传感器薄膜.气敏测试结果表明:该传感器对氯气有较理想的灵敏特性。

关键词： 全氯取代酞菁锌 气敏性 气体传感器

作者: 雷廷平 施云波 赵文杰 李赞 王立权

作者单位: 哈尔滨理工大学应用科学学学院,哈尔滨:150080 哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院,哈尔滨:150080;哈尔滨工程大学机械工程博士后科研流动站,哈尔滨:150001 哈尔滨学院生命科学与化学学院,哈尔滨:150086 哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院,哈尔滨:150080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届中国湿度与水分学术交流会暨第十届全国气湿敏传感器技术交流会

会议地点: 江西景德镇

会议语种:中文

页码: 250-253

在线出版日期: 2008-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）