磁控射频溅射Cu掺杂SnO2薄膜的气敏光学特性研究

摘要：

采用磁控射频溅射的方法,在玻璃基片上制备SnO2及其掺杂薄膜.采用AFM和XRD分析薄膜的表面形貌与结构,对掺Cu的SnO2薄膜在常温丙酮气氛作用下,用UV分光光度计进行了气敏光学特性测试,研究结果表明:薄膜在常温下对丙酮气体具有明显的敏感效应,其反射率在可见光范围的某些波段有20％的变化.

关键词： 磁控射频溅射 二氧化锡薄膜 丙酮气氛 反射率 气敏光学特性

作者: 冯金垣 郝延华

作者单位: 华南理工大学物理科学与技术学院,广州:510641

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届中国湿度与水分学术交流会暨第十届全国气湿敏传感器技术交流会

会议地点: 江西景德镇

会议语种:中文

页码: 217-220

在线出版日期: 2008-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）