基于微热板技术的氢气传感器
新型固态氢气传感器将新颖的氢化金属薄膜与带微热板的微机电(MEMS)系统结构相结合.微热板结构通过硅表面微加工制作,产生带有嵌入式加热器并与衬底绝热的悬置平台.涂覆钯保护层的稀土金属薄膜淀积在这个结构上,用作主动氢气敏感层.当敏感元件暴露在氢气中时,这两层的电阻变化就是传感器的输出.对空气中0.25％氢气的响应时间为亚秒(低于ls).可测量低于200ppm的氢气浓度.传感器的上升时间和下降时间取决于微热板的有效温度,且随加热器功率的增加而变短.上述结果表明,该器件满足微量氢气测量的敏感需求.
微热板技术 氢化金属膜 稀土金属膜 氢气传感器
曾传卿
中国工程物理研究院总体工程研究所,四川绵阳:621900
国内会议
第12届中国湿度与水分学术交流会暨第十届全国气湿敏传感器技术交流会
江西景德镇
中文
203-207
2008-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）