基于VRML的虚拟IC集束装备建模与仿真
通过分析,针对IC集束装备制造系统的组成结构、加工流程和生产方式的特点,在准确描述了晶圆加工过程的细节后,利用Petri网为工具对该系统建立了模型.并以该模型为基础,借助于VRML技术,建立了虚拟IC集束装备.该软件平台能够真实的在现晶圆加工的过程.借助于该软件平台,不仅可以进行复杂的IC集束装备控制器的控制与调度算法的验证,分析比较不同算法的优劣,而且为进一步的制造真实的IC集束装备打下了良好的基础.
IC集束装备 晶圆加工 Petri网 加工流程
石泽兴 胡静涛
中国科学院沈阳自动化研究所 沈阳 110016
国内会议
河南焦作
中文
278-282
2008-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）