基于IC工艺甲醛气体传感器的研究

摘要：

用溶胶凝胶(sol-gel)法制备了掺Pd的纳米SnO2薄膜.材料的平均粒径为15nm.采用IC工艺在硅衬底上制作了3×2mm的直热式薄膜甲醛气敏元件,对不同浓度甲醛气体下元件的灵敏度以及元件的响应恢复时间进行了测试.实验证明:元件的灵敏度随气体浓度的增大而增大,测量甲醛的最低浓度为1ppm.元件的响应和恢复时间均为100s.

关键词： 甲醛 气敏元件 灵敏度 气体传感器 纳米薄膜 溶胶-凝胶法

作者: 张鹏 王兢 杜鹏

作者单位: 大连理工大学电信学院 辽宁大连 116023

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 河南焦作

会议语种:中文

页码: 179-180

在线出版日期: 2008-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）