微探针振动特性的理论分析及实验研究

摘要：

力学传感器微探针作为原子力显微镜的重要部件,其固有振动频率影响着系统的主要性能.本文通过能量关系,分析并推导了微探针共振频率的理论公式,采用有限元分析软件ANSYS进行了有限元仿真分析,并采用测量仪器对微探针共振频率进行了实际实验测试,结果表明理论分析与实际结果很好的吻合,从而证明了理论分析的正确性。

关键词： 微探针 弹性常数 有限元法 谐振频率 力学传感器

作者: 刘梅 李玉和 林浩山 廖小华

作者单位: 清华大学精密仪器与机械学系 北京 100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 河南焦作

会议语种:中文

页码: 93-95

在线出版日期: 2008-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）