微探针振动特性的理论分析及实验研究
力学传感器微探针作为原子力显微镜的重要部件,其固有振动频率影响着系统的主要性能.本文通过能量关系,分析并推导了微探针共振频率的理论公式,采用有限元分析软件ANSYS进行了有限元仿真分析,并采用测量仪器对微探针共振频率进行了实际实验测试,结果表明理论分析与实际结果很好的吻合,从而证明了理论分析的正确性。
微探针 弹性常数 有限元法 谐振频率 力学传感器
刘梅 李玉和 林浩山 廖小华
清华大学精密仪器与机械学系 北京 100084
国内会议
河南焦作
中文
93-95
2008-08-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)