基于Windows API实现的串口库在PECVD控制系统中的应用

摘要：

本文对串口通信技术进行了研究,利用Windows API函数设计实现了串口库,并将其应用到化学气相沉积设备PECVD控制系统中,取得了良好的效果.

关键词： Windows API 串口通信 IC装备 PECVD 控制系统 化学气相沉积

作者: 金妮 徐皑冬 刘明哲

作者单位: 中国科学院沈阳自动化研究所 沈阳 110016

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 河南焦作

会议语种:中文

页码: 716-719

在线出版日期: 2008-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）