MEMS Low-g加速度传感器测试系统的试验研究

摘要：

本文介绍了MEMS Low-g加速度传感器测试系统的试验装置,对试验装置的各个组成部分进行了介绍，阐述了测试加速度传感器灵敏度、加速度线性度和零点漂移的测量和计算方法，以自主研发的倾斜传感器作为试验对象,进行了试验测试,并给出了试验结果。

关键词： 加速度传感器 传感器设计 传感器测试

作者: 陈惠蓉 郑政

作者单位: 智芯(厦门)微电子有限公司 厦门 361022

会议类型: 国内会议

会议名称: 第19届中国过程控制会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 477-481

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）