会议专题

MEMS Low-g加速度传感器测试系统的试验研究

本文介绍了MEMS Low-g加速度传感器测试系统的试验装置,对试验装置的各个组成部分进行了介绍,阐述了测试加速度传感器灵敏度、加速度线性度和零点漂移的测量和计算方法,以自主研发的倾斜传感器作为试验对象,进行了试验测试,并给出了试验结果。

加速度传感器 传感器设计 传感器测试

陈惠蓉 郑政

智芯(厦门)微电子有限公司 厦门 361022

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2008-07-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)