用扫描探针显微镜扫描二维光栅形貌

摘要：

本文阐述了扫描探针显微镜的基本工作原理及特点,以二维光栅作为测试样品介绍AJ-Ⅲ型扫描探针显微镜的实验过程,观测二维光栅的形貌图,并利用离线软件对其三维图像、颗粒尺寸、剖面图像等进行分析与处理,最后指出了仪器存在的不足与改进意见。

关键词： 显微镜测量 扫描探针 二维光栅 光栅形貌

作者: 郭生士

作者单位: 厦门大学物理系 厦门 361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 第19届中国过程控制会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 434-436

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）