碳纳米管场效应晶体管的自动化装配方法研究
自碳纳米管(Carbon nanotube,CNT)被发明以来,研究者就对CNT所表现出来的优异的物理、化学以及电学特性产生了浓厚的兴趣.近年来,CNT基纳米器件的研究取得了重要进展.特别是利用半导体性CNT制造的碳纳米管场效应晶体管(Carbon nanotube field effect transistor,CNT-FET),在化学传感器以及生物传感器等领域表现出了巨大的应用潜力.为此,本文首先介绍了目前CNT-FET制造方法的研究现状。对基于介电泳(Dielectrophoresis,DEP)的CNT-FET制造方法进行了系统分析,构建了基于DEP方法可实现碳纳米管场效应晶体管的自动化装配的微滴定实验系统.本文进行的CNT-FET装配实验,证明了该系统的有效性。
碳纳米管 自动化装配 场效应晶体管 装配方法
于海波 田孝军 于鹏 董再励
中国科学院沈阳自动化研究所 机器人学国家重点实验室 沈阳 110016；中国科学院研究生院 北京 100039 中国科学院沈阳自动化研究所 机器人学国家重点实验室 沈阳 110016
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103-106
2008-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）