PⅢ&D复合强化处理轴承钢表面TiN膜层的XPS表征
本文用等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ&D)复合强化新技术在AISI52100轴承钢基体表面合成了硬而耐磨的氮化钛薄膜。膜层表面的化学组成和相结构分别用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征。膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出TiN膜结晶完整,结构致密均匀.XRD和XPS测试结果表明,膜层中除主要生成有稳定的TiN相外,还有少量氧化物和未参与反应的单质氮，整个膜层是由TiN,TiO2,Ti-O-N化合物和少量单质氮组成的复合体系。
金属保护 离子注入 氮化钛薄膜 光谱分析
刘洪喜 蒋业华 周荣 杨天武 汤宝寅
昆明理工大学机电工程学院,云南 昆明 650093 哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,黑龙江 哈尔滨 150001
国内会议
泉州
中文
503-504
2008-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）