PⅢ&D合成类金刚石碳膜的Raman光谱分析
本文用等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ&D)复合强化新技术在AISI1440C不锈钢基体表面合成了无氢类金刚石(α-C)和含氢类金刚石(α-C:H)碳膜。膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出DLC膜结晶完整,结构致密均匀。Raman光谱分析结果表明,制备的DLC主要是由金刚石键(sp3)和石墨键(sp2)组成的混合无定形碳膜,且sp3键含量大于10％.DLC膜中D峰和G峰蜂位、半峰宽度FWHM大小及Raman积分强度ID/IG的比值随着注入脉宽、工作气体压力和薄膜合成方式等因素的变化而变化。
金刚石薄膜 薄膜测量 薄膜结构 光谱分析
刘洪喜 周荣 蒋业华 史海霞 汤宝寅
昆明理工大学机电工程学院,云南 昆明 650093 哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,黑龙江 哈尔滨 150001
国内会议
泉州
中文
263-264
2008-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）