圆形聚酰亚胺硅微电容传声器制备及性能测试

摘要：

近年来，在声学领域，MEMS硅微传声器取得了迅猛的发展。在制作硅微传声器的传统工艺过程中，主要采用硅作为基底材料，同时应用氮化硅、多晶硅、二氧化硅等材料作为声学振动膜。随着在工艺方面的探索，高分子有机化合物也在MEMS工艺过程中得到了应用。本文将叙述聚酞亚胺硅微传声器制备过程并对传声器进行初步的性能测试和分析。

关键词： 微电容传声器 性能测试 二氧化硅 声学振动膜 聚酞亚胺

作者: 李剑成 汪承灏 马军 田静

作者单位: 中国科学院声学研究所,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国声学学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 548-549

在线出版日期: 2008-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）