温度对等离子渗硼源极溅射行为及渗硼层成分的影响

摘要：

本文采用双层辉光等离子渗硼技术,以固体化合物FeB为供硼源,Ti6Al4V合金为基体,研究了等离子渗硼过程中的不同温度下源极的溅射行为及其对渗硼层的影响.通过对等离子溅射前后的源极及试样的重量变化的测量,计算分析了不同温度下的源极溅射量和试样吸收率,温度越高源极溅射量越大.采用光学图像分析仪和辉光光谱分析仪检测了不同试样温度下的渗硼改性层的厚度和元素分布,温度越高渗硼层越厚.

关键词： 双层辉光 等离子渗硼 钛合金 FeB硼源 辉光光谱分析仪

作者: 马连军 詹科 李哲 秦林 唐宾

作者单位: 太原理工大学表面工程研究所 太原 030024

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年中国机械工程学会年会暨甘肃省学术年会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 637-641

在线出版日期: 2008-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）