钛过镀层沉积自支撑金刚石膜的界面特征

摘要：

利用直流等离子体喷射法在具有钛过渡层的钼复合衬底上制备了自支撑金刚石膜,目的是解决自支撑金刚石膜脱落时的裂纹问题。本文研究具有钛过渡层的钼衬底沉积无裂纹自支撑金刚石膜的界面特征.用扫描电子显微镜(SEM)观察界面的形貌特征,X射线光电子谱(XPS)分析界面元素的化学状态,X射线衍射谱(XRD)进行界面的相组成分析.结果显示:金刚石膜和钛过渡层之间存在碳化物,形成强结合.金刚石膜脱落时,过渡层在界面形成无序破坏而释放应力,有利于制备无裂纹的自支撑金刚石膜.

关键词： 自支撑金刚石膜 钛过渡层 等离子体喷射法 钼衬底沉积 界面特征

作者: 陈良贤 李成明 陈飞 刘政 黑立富 宋建华 陈广超 唐伟忠 吕反修

作者单位: 北京科技大学材料科学与工程学院 北京 100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年中国机械工程学会年会暨甘肃省学术年会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 594-597

在线出版日期: 2008-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）