多弧离子镀制备TiN/Ni纳米复合超硬膜的研究

摘要：

采用多弧离子镀技术,通过改变Ni靶电流和开启的时间,在高速钢基体上沉积出不同Ni含量的TiN/Ni复合膜涂层,用SEM、AFM观察其形貌,用XRD分析复合膜的相结构,用显微硬度计测试薄膜硬度,同时初步探索了TiN/Ni纳米复合膜的超硬机理.结果表明:随着Ni含量的增加,晶粒逐渐细化并达到纳米级尺寸,膜层硬度与Ni的含量密切相关,当Ni含量达到1.4at％时,硬度最高,达到47GPa.

关键词： 高速钢 多弧离子镀 TiN/Ni纳米复合膜 纳米晶 显微硬度 相结构

作者: 郑国龙 王从曾 穆静静 黄建斌

作者单位: 北京工业大学材料科学与工程学院 北京 100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年中国机械工程学会年会暨甘肃省学术年会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 577-579

在线出版日期: 2008-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）