清洁等离子体在辉光光谱成份分析中的应用
辉光光谱仪在进行成分分析时,需要等离子体稳定时才能进行数据采集.一般通过用氩气吹洗腔体和设置预积分来保证等离子体稳定后再采集数据.吹洗会将大部分的污染物用氩气带出辉光放电腔,但是仍然会有少量的污染物吸附在腔壁上.在辉光放电时,氩原子的碰撞会将这些污染物从腔壁上撞下来,进入等离子体中,影响等离子体的状态.本文提出了用”清洁等离子体”的步骤来减小这种影响. ”清洁等离子体”的步骤就是一个前预积分步骤.在真正进行预积分前,用一个短暂的时间产生辉光放电,用氩原子将腔壁上的污染物清除下来,然后停止辉光放电,重新进行吹洗,将污染物排除放电腔体。再进行预积分时,就不会有污染物对等离子体的干扰,等离子体能很快的进入稳定状态.
辉光光谱仪 成份分析 清洁等离子体 预积分 数据采集
余卫华 张穗忠 于录军
武钢研究院 武汉 430080
国内会议
兰州
中文
199-203
2008-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）