CMOS技术按比例缩小及对老化的影响

摘要：

本文简述CMOS集成电路按比例缩小对电路性能的影响,以及可靠性老化筛选应注意的问题和建议采取的措施.

关键词： CMOS集成电路 按比例缩小 漏电流 老化筛选 电路性能 可靠性

作者: 王锦阳

作者单位: 北京微电子技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会可靠性分会第十四届学术年会

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 248-252

在线出版日期: 2008-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）