微机械气流式全方位水平姿态传感器敏感机理的有限元分析

摘要：

采用有限元方法,解释了微机械气流式全方位水平姿态传感器的敏感机理.通过建立敏感元件的三维模型,计算了敏感元件内气流速度在不同倾斜状态下的分布.结果表明:(1)热源周围两两相对的热敏电阻处的气流速度之差随着倾斜角度的变化而改变.(2)随着倾斜角度的增加,两热敏电阻处的气流速度之差加大,漉过两热敏电阻的电流之差加大,电桥失去平衡,输出一个与倾斜角度相对应的电压.有限元计算方法为该传感器的优化设计开辟了有效的研究途径.

关键词： 传感器 敏感机理 有限元分析 优化设计

作者: 宋佳 朴林华 刘玉洁 李言杰 张福学

作者单位: 北京信息工程学院 北京 100101 北京市传感器重点实验室,北京 100101

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十五届电子元件学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 295-300

在线出版日期: 2008-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）